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          潔凈棚的潔凈度
          瀏覽次數:2490發布日期:2014-05-26
            潔凈棚的潔凈度往往受到氣流的影響,換而言之,即人、機器設備、建筑結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣流的支配。 潔凈棚根據凈化等級的要用HEPA過濾器ULPA超空氣過濾器過濾空氣,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,以滿足凈化空氣的要求。

          潔凈棚內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度在0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風區域,易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,能以zui適當的風速供應,以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。 另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁面,氣流會延著壁面發生渦流作用,此時要實現高潔凈度事實上很困難。 垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s0.7m/s)均有渦流之現象發生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。 影響因素 影響潔凈棚的氣流因素很多,如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同時對于生產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。
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